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直拉单晶炉主要有哪几部分:( )。


A、气压控制系统
B、炉室
C、单晶硅棒生长控制系统
D、晶体及坩埚旋转和升降机械传动系统

发布时间:2024-11-28 06:41:11
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答案:ABCD
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