什么是外延层,为什么在硅片上使用它?
什么是外延层,为什么在硅片上使用它?
发布时间：2025-08-13 12:09:51
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答案：在某种情况下,需要硅片有非常纯的与衬底有相同晶体结构的硅表面,还要保持对杂质类型和浓度的控制,这要通过在硅表面沉积一个外延层来达到.原因是外延层在优化pn结的击穿电压的同时降低了集电极电阻,在适中的电流强度下提高了器件速度.外延在CMOS集成电路中变得重要起来,因为随着器件尺寸不断缩小它将闩锁效应降到最低.外延层通常是没有玷污的.
