真空蒸发装置有那些?
真空蒸发装置有那些?
发布时间：2025-05-25 19:32:01
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答案：答:真空蒸发镀膜是在真空室中,加热蒸发器中待形成薄膜的源,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流,入射到衬底或基片表面,凝固形成固态薄膜的方法。 蒸发源的类型:电阻蒸发源、电子束蒸发源、高频感应蒸发源。
