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非接触式测量有哪些?有什么优缺点?

非接触式测量有哪些?有什么优缺点?

发布时间:2025-03-26 15:35:48
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答案:【计分规则】: 涡流技术,缺点是不能确定较薄扩散或离子注入层的方块电阻,优点是非接触性和成品设备的可用性。光反射调制技术,缺点是定性的,需要标定,优点是非破坏性,可用于监测离子注入。
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