关于ALD下面那种说法正确：
A、生成膜的厚度可以精确控制到原子尺度;
B、可用于制备多组分纳米膜;
C、ALD是通过前驱体的剂（流）量来精确控制生长膜厚度的;
D、ALD生成膜的台阶覆盖性较差
发布时间：2025-04-01 15:11:55
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答案：生成膜的厚度可以精确控制到原子尺度;
可用于制备多组分纳米膜
