以下哪些是影响CMP质量的主要因素
A、抛光液的粘度、PH值;
B、抛光区域的温度;
C、抛光的压力;
D、抛光垫的表面粗糙度
发布时间：2025-03-20 04:18:28
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答案：抛光液的粘度、PH值;
抛光区域的温度;
抛光的压力;
抛光垫的表面粗糙度
