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什么叫反刻技术?
什么叫反刻技术?
发布时间:
2025-07-21 14:39:18
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(
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答案:
【计分规则】: 反刻又称为回蚀、回刻。它是在表面起伏处用一层厚的介质或其它材料作为平坦化的牺牲层来进行平坦化,这一层牺牲材料填充空洞和表面的低处,然后选择合适的刻蚀方法来刻蚀这一层牺牲层,最后通过对高处的刻蚀及低处的保留来使表面平坦化。
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