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几种热氧化方法中,哪种生长的薄膜结构最致密,纯度最高
A、干氧氧化;
B、水汽氧化;
C、湿氧氧化;
D、掺氯氧化
发布时间:
2025-06-15 17:33:16
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(
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答案:
干氧氧化
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几种热氧化方法中,哪种生长的薄膜结构最致密,纯度最高
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