MEMS的概念及特点
MEMS的概念及特点
发布时间：2025-06-29 23:19:27
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答案：
1）概念：MEMS一般指微机电系统 。泛指特征尺度在亚微米至亚毫米范围的装置，完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统2）特点：尺度小，高智能化、高度集成的系统。采用硅、GAAS、陶瓷以及纳米材料，具有较高的性价比
