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poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的?
A、PECVD;
B、LPCVD;
C、APCVD;
D、LCVD
发布时间:
2025-02-24 14:56:29
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答案:
LPCVD
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1.
poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的?
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下列TEM样品制备方法中,( )属于薄膜法。
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