以下哪种光刻机属于第四代光刻机？（ ）
A、接触式光刻机
B、接近式光刻机
C、扫描投影式光刻机
D、浸没式步进扫描投影光刻机
发布时间：2025-03-31 18:59:11
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答案：浸没式步进扫描投影光刻机
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