在光刻工艺中为什么会出现浮胶?
在光刻工艺中为什么会出现浮胶?
发布时间：2024-12-26 15:56:30
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答案：主要有以下原因:(1)操作环境湿度过大(2)SiO2层表面不净(3)前烘不足或过度(4)曝光或显影不合适(5)腐蚀不当造成浮胶
