二氧化硅薄膜在半导体器件生产上的应用有（） ⑴ 对杂质的掩蔽作用 ⑵ 对器件表面的保护和钝化作用 ⑶ 用于器件的电绝缘和电隔离 ⑷ 作为电容器的介质材料 ⑸ 作为MOS场效应晶体管的绝缘栅材料
A、⑴⑵⑶⑷⑸;
B、⑶⑷⑸;
C、⑴⑷⑸;
D、⑵⑶
发布时间：2025-05-08 15:07:56
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答案：⑴⑵⑶⑷⑸
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- 1.二氧化硅薄膜在半导体器件生产上的应用有（） ⑴ 对杂质的掩蔽作用 ⑵ 对器件表面的保护和钝化作用 ⑶ 用于器件的电绝缘和电隔离 ⑷ 作为电容器的介质材料 ⑸ 作为MOS场效应晶体管的绝缘栅材料
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