薄膜材料制备方法主要有哪些？
薄膜材料制备方法主要有哪些？
发布时间：2026-01-08 16:14:22
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答案：物理方法包括真空蒸发沉积、磁控溅射法、离子束溅射沉积、脉冲激光沉积（PLD）、分子束外延（MBE）；化学方法包括化学气相沉积（CVD）、溶胶－凝胶法（Sol－Gel法）、电沉积、液相外延（LPE）、化学束外延
