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【填空题】化学气相沉积法(CVD)是通过 的过程。CVD法可用于制造 、 、纤维等材料,它是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术

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发布时间:2025-04-04 10:30:47
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答案:["气相化学反应生成固态产物并沉积在固体表面","覆膜;粉末","覆膜;粉末"]
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