二氧化硅膜在集成电路工艺中的作用包括？（ ）。
A、掩蔽作用
B、保护和钝化作用
C、隔离作用
D、MOS器件中的栅极材料
E、电容器的介质材料
F、电极引线和器件之间的绝缘
发布时间：2025-01-06 12:57:06
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答案：掩蔽作用 ■保护和钝化作用 ■隔离作用 ■MOS器件中的栅极材料 ■电容器的介质材料 ■电极引线和器件之间的绝缘
