简述光刻解析度
简述光刻解析度
发布时间：2025-03-10 14:42:56
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答案：所谓解析度是在晶圆表面涂布的光刻胶上经曝光形成的图案中，分辨两个最靠近的尺寸的能力。其中最小的尺寸就是所谓集成电路晶片(晶圆)上最窄(细)的线宽，也称之为特征尺度。
